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硅
基底材料:单晶Si
尺寸:8~200mm
工作波长:可根据客户定制
膜层质量:遵照标准MIL-C-675C
镀膜:
1、一面类金刚石薄膜(DLC),一面镀透膜,透过率Tavg>80%@8~14μm ;Tavg>90%@3~5μm
2、两面增透膜,透过率Tavg>85%@8~14μm;Tavg>95%@3~5μm
示例薄膜光谱性能如下:
超光滑元件
红外元件
可见光元件
紫外元件
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