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硅

密度：2.329g/cm^3

透过率：＞52%

电阻率：0-10000Ω/cm

导电类型：N型或者P型

尺寸直径径厚比光洁度曲率半径范围球面张角范围样板精度△R面形中心偏差ETV
小Φ10-Φ25mm
5:140-20≥35mm
≤60°
AN≤2

ΔN≤0.5


0.05
中Φ25-Φ100mm
5:140-20≥35mm
≤60°
A

N≤2/Φ60

ΔN≤0.5/Φ60

0.05
大Φ100-Φ295mm
5:160-40≥120mm
≤60°
A

N≤2/Φ6

ΔN≤0.5/Φ600

0.05


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