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石英

密度：2.20±0.02g/cm^3

透过率：≥92%@193nm；≥98%@248nm

光学均匀性：±（2-10）×10^-6

应力双折射：2-5nm/cm

尺寸尺寸范围侧垂光洁度面形角度公差光学平行差通光孔径
小5×5-10×10mm
1′20/10-60/40λ/4-λ/10
2″-60″2″-3′
≥90%
中20×20-50×50mm1′20/10-60/40λ/4-λ/10
2″-60″
2″-3′
≥90%
大60×60-100×100mm1′40/20-80/50λ/4-λ/10
2″-60″
2″-3′
≥90%


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