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石英

密度:2.20±0.02g/cm^3

透过率:≥92%@193nm;≥98%@248nm

光学均匀性:±(2-10)×10^-6

应力双折射:2-5nm/cm

尺寸直径径厚比光洁度曲率半径范围球面张角范围样板精度△R面形中心偏差ETV
Φ10-Φ25mm
5:120-10≥35mm≤60°A

N≤2

ΔN≤0.5

0.05
Φ25-Φ100mm
5:120-10≥35mm
≤60°A

N≤2/Φ60mm

ΔN≤0.5/60mm

0.05
Φ100-Φ295mm
5:140-20≥120mm
≤60°A

N≤2/Φ60mm

ΔN≤0.5/60mm

0.05


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