石英
密度：2.20±0.02g/cm^3
透过率：≥92%@193nm；≥98%@248nm
光学均匀性：±（2-10）×10^-6
应力双折射：2-5nm/cm
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石英
密度：2.20±0.02g/cm^3
透过率：≥92%@193nm；≥98%@248nm
光学均匀性：±（2-10）×10^-6
应力双折射：2-5nm/cm
| 尺寸 | 直径 | 径厚比 | 曲率半径范围 | 球面张角范围 | 样板精度△R | 光洁度S/D | 面形 | 表面粗糙度RMS | 中心偏差ETV |
| 小 | Φ10-Φ25mm | 5:1 | ≥35mm | ≤60° | A | 20-10 | N≤2 ΔN≤0.5 | ≤0.5nm | 0.05 |
| 中 | Φ25-Φ100mm | 5:1 | ≥35mm | ≤60° | A | 20-10 | N≤2/Φ60mm ΔN≤0.5/Φ60mm | ≤0.5nm | 0.05 |
| 大 | Φ100-Φ295mm | 5:1 | ≥120mm | ≤60° | A | 40-20 | N≤2/Φ60mm ΔN≤0.5/Φ60mm | ≤0.5nm | 0.05 |
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